室温・大気雰囲気でのレーザー金属成膜

新規開発中のレーザー金属成膜には、
既存のレーザー成膜技術にはない、次の5つの特徴があります。

1.大気雰囲気での成膜が可能。
   当然、技術的には、真空雰囲気で成膜することも、ガス置換した雰囲気での成膜も可能。
2.マスクレスで線状の成膜が可能。
   成膜パターンは直線でも、曲線でも可能。
3.金属であれば、純金属(銅など)だけでなく、合金(身近なところでSUS)でも成膜が可能。
   膜組成比は評価できていませんが、条件によると思われます。
4.基板加熱不要で成膜が可能。
   成膜後、水道水と界面活性剤で洗浄しても膜が剥離しません。
   一例として、幅50μm程度のライン状成膜部分でのテープ剥離テストでも膜剥離しません。
5.透明であればガラスでもアクリル板でも成膜可能。

例えば、下の2枚1組の画像はスライドガラスに「市松模様」を室温、大気雰囲気下でマスクレスでレーザー成膜したものです。
右上の画像に、強めの照明を照射して、反射光を強調して撮影した画像が左下の画像です。

下の画像は、上に示した市松模様のパターンが変わる部分を拡大観察した画像です。

上記のようなパターンは、直線を任意のパターンでマスクレスで成膜したものです。
同様に、曲線パターンも成膜可能です。
下の画像は、幅約50μmの銅の膜を同様の方法で、スライドガラス上に円形状に成膜したものです。
もっと複雑なパターンも可能です。
更に細い成膜なども、今後、ご紹介していきたいと思います。

検討すべき項目はまだありますが、将来的には、アンテナ(5Gなど)や、小型のセンサーデバイスなどへの応用が期待できるかもしれません。

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